千級潔凈棚，或萬級潔凈棚檢測

涉及標準

■《潔凈室施工及驗收規范》GB 50591-2010

■ 《潔凈廠房設計規范》GB 50073-2013

檢測前要求：潔凈棚已清潔完畢;已經運行至少30分鐘

性能確認

1性能確認目的：通過在運行過程中檢查潔凈棚內部的塵埃粒子、換氣次數、照度、噪音等情況，確認此設備是否能夠達到設計標準要求。

2可接受標準:

1）塵埃粒子：塵埃粒子數不低于設計潔凈級別

2）風換氣次數：換氣次數不小于設計值。

3）照度：照度200LX-500LX。

5）噪聲：不大于60dB

4）高效過濾器任何點的泄漏率小于0.01%

換氣次數測試

使用儀器：風量罩/風量儀/風速儀

檢測方法是：將每個送風口均勻分成每邊長不超過200mm的n個正方形或矩形，使用熱球式風速儀測量每個正方形或矩形型心處的送風速度，用每個測點風速的算術平均值作為送風口平均風速。

換氣次數按下式計算：    N= v_p×f×3600/V

式中：n－換氣次數,次/h

     v_p－送風口平均風速，m/s

     f－送風口總面積，m²

     V－傳遞窗送風區體積，m³

照度檢測

使用照度計：測點距地面高0．8m，按1m～2m間距布點，30㎡以內的房間測點距墻面0．5m，超過30㎡的房間，測點離墻1m。

判定：無采光窗的潔凈室（區）的生產用房間一般照明的照度標準值宜200LX-500LX,輔助用房、人員凈化和物料凈化用室、氣閘室、走廊等宜為150LX-300LX

噪聲測試

測點距地面高1．1m。面積在15㎡以下的潔凈室，可只測室中心1點，15㎡以上的潔凈室除中心1點外，應再測對角4點，距側墻各1m，測點朝向各角。

懸浮粒子測試

使用儀器：激光塵埃粒子計數器.

檢測狀態：靜態檢測，室內測試人員不得多于2人。

檢測方法：將風速旋鈕風別調至三個不同的風速檔，對每個風速檔按下面要求的檢測點進行檢測。

塵埃粒子采樣量

每個采樣點的每次最小采樣量VS用下式確定：

VS=   { 20/ Cn.m }  ×1000                 

式中，

VS ——每個采樣點每次最少采樣量，用升表示。

Cn.m ——為相關等級規定的最大被考慮粒徑之等級限值（pc/m3空氣）。

20   ——當粒子濃度處于該等級限值時，可被檢測到的粒子數。

取樣點數

n_min=√A（潔凈區測試面積開根號）

式中：n_min——最少測點數（小數一律進位為整數）；

A——被測對象的面積（㎡）；對于非單向流潔凈室，指房間面積；對于單向流潔凈室，指垂直于氣流的房間截面積；對于局部單向流潔凈區，指送風面積

采樣點數目及位置：距離地面0.8高度的平面上均勻布置，

高效過濾器檢漏

使用設備：光度計+氣溶膠發生器（冷發）

1、在檢測儀上游PAO測試管與設備PAO測試孔連接

2、在HEPA上游區域發PAO氣溶膠，上游濃度達到20-80ug/L后，用光度計在下游距離高效出口25mm處進行掃描巡檢

判定依據：高效過濾器任何點的泄漏率小于0.01%